本方向本年度主要研究射频 /微波MEMSshunt开关的理论模型和数值结论. 研究把可动薄膜的运动近似地模拟为作用在可动薄膜上的变静电力、弹力及空气阻力的单自由度阻尼振动的一系列方法. 研究给出典型MEMSshunt开关开启时间的数学表达式及数值计算值. 根据可动膜厚、材料和几何结构参数不同,着重研究SI电路在微波射频领域的应用，探讨实用SI射频电路的实用结构设计。研究集成电路流片技术，研发具有独立知识产权的SI射频功能电路芯片，并对SI射频集成电路的测试方法进行理论研究。着重研究基于SI技术的微波射频功能结构设计研究，进而研究SI射频芯片的设计与制作；现已建立red hat unix 环境下的cadence设计平台，可进行平面元件的创建、绘制原理图、原理图后续处理、Allegro PCB工作环境的配置、焊盘与PCB封装的建立、布局、覆铜、布线、PCB后续处理以及电路板加工前的准备工作。
    本年度发表并被SCI收录论文1篇，EI收录论文7篇。本年度还在本方向申报了国家级科研课题一项。